特許
J-GLOBAL ID：200903040485894583
プローブ用垂直ニードル、垂直ニードル型プローブおよびそれに用いられる複合細線
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
津国 肇 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-128254
公開番号（公開出願番号）：特開平10-319039
出願日： 1997年05月19日
公開日（公表日）： 1998年12月04日
要約：
【要約】【課題】 低い接触抵抗を示し、接触を反復しても変形や接触抵抗の変化を生じない、垂直ニードル型プローブに適した垂直ニードル、およびその製造方法ならびにそれを用いた垂直ニードルプローブを提供する。【解決手段】 芯金と被覆層からなり、該芯金が(A)WもしくはMoまたはそれらの1種以上を主成分とする合金;あるいは(B)Au、Pt、Rh、Pd、Ni、CuもしくはAlまたはそれらの1種以上を含む合金の一方からなり、被覆層がその他方からなることを特徴とするプローブ用垂直ニードル;それを用いた垂直ニードル型プローブならびにそれに用いられる複合細線。
請求項（抜粋）：
芯金と被覆層からなり、該芯金が下記(A)または(B)の一方からなり、被覆層がその他方からなることを特徴とするプローブ用垂直ニードル。(A)WもしくはMoまたはそれらの1種以上を主成分とする合金;(B)Au、Pt、Rh、Pd、Ni、CuもしくはAlまたはそれらの1種以上を含む合金。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01R 1/067 A
, H01L 21/66 B
