特許

J-GLOBAL ID：200903040490740632

非晶質硬質炭素膜及びその製造方法

発明者： 諸貫 正樹
出願人/特許権者： 株式会社リケン
代理人 (1件)： 村井 卓雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-157465
公開番号（公開出願番号）：特開2002-348668
出願日： 2001年05月25日
公開日（公表日）： 2002年12月04日
要約：

【要約】【課題】 摺動部材表面に形成される非晶質硬質炭素膜の初期馴染み性を改善する。【解決手段】 非晶質硬質炭素膜が炭化珪素及び酸化珪素を含有し、酸化珪素含有量が膜表面に向かって連続的もしくは段階的に増加する。

請求項（抜粋）：

炭素と水素を主成分とする非晶質硬質炭素膜において、該膜中に炭化珪素及び酸化珪素を含有し、該酸化珪素含有量が膜内部より膜表面に向かって変化しており、最大酸化珪素含有量位置が膜表面にあり、かつ最小酸化珪素含有量(ゼロ%を含む)が膜内部にあることを特徴とする非晶質硬質炭素膜。

IPC (2件)：

C23C 16/26 ,  C01B 31/02 101

FI (2件)：

C23C 16/26 ,  C01B 31/02 101 Z

Fターム (17件)：

4G046CA02 ,  4G046CB03 ,  4G046CC06 ,  4K030AA06 ,  4K030AA09 ,  4K030AA14 ,  4K030BA27 ,  4K030BA37 ,  4K030BA44 ,  4K030BB05 ,  4K030FA03 ,  4K030FA14 ,  4K030HA04 ,  4K030JA06 ,  4K030LA01 ,  4K030LA21 ,  4K030LA23