特許
J-GLOBAL ID：200903040491502409
フォトレジスト組成物用容器
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
長谷川 曉司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-229114
公開番号（公開出願番号）：特開平6-191589
出願日： 1993年09月14日
公開日（公表日）： 1994年07月12日
要約：
【要約】【構成】 多層の樹脂層から構成された容器であって、該樹脂層の最内層が遮光剤を含有しない樹脂で構成され、該最内層以外の少なくとも一層がフォトレジスト組成物の光感度に対して遮光性を有する遮光剤を含有する樹脂で構成されていることを特徴とするフォトレジスト組成物用容器。【効果】 本発明の容器は、これにフォトレジスト組成物を貯蔵した場合のレジストの保存安定性に優れ、また容器が軽量で廃棄する際にも焼却処理でき、極めて有用である。
請求項（抜粋）：
多層の樹脂層から構成された容器であって、該樹脂層の最内層が遮光剤を含有しない樹脂で構成され、該最内層以外の少なくとも一層がフォトレジスト組成物の光感度に対して遮光性を有する遮光剤を含有する樹脂で構成されていることを特徴とするフォトレジスト組成物用容器。
IPC (5件)：
B65D 85/84
, B65D 1/09
, B65D 81/30
, G03F 7/004
, H01L 21/027
B65D 1/00 B
, H01L 21/30 301 R
