特許

J-GLOBAL ID：200903040501228394

走査露光方法

発明者： 若本 信二 ,  鈴木 一明
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 大森 聡
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-201947
公開番号（公開出願番号）：特開平8-064506
出願日： 1994年08月26日
公開日（公表日）： 1996年03月08日
要約：

【要約】【目的】 スキャン露光方式で露光する際に、ウエハが走査されていても小さい追従誤差でオートフォーカスをかけると共に、ウエハが加速区間を通過する前にオートフォーカスを動作させる。【構成】 スリット状の露光領域22に対して走査方向に手前側の先読み領域24Bでウエハ上のフォーカス位置を検出し、この検出結果に基づいてオートフォーカスを行う。ウエハの走査開始位置での露光領域22とショット領域23との間隔、即ち加速区間28の幅をLac、露光領域22と先読み領域24Bとの間隔をLpとして、幅Lacを間隔Lp以上に設定する。

請求項（抜粋）：

所定の照明光のもとでマスク上のパターンの像を感光性の基板上に投影する投影光学系を有し、該投影光学系の光軸に垂直な第1の方向に前記マスクを走査するのと同期して、前記基板を前記第1の方向に対応する第2の方向に走査することにより、前記マスクのパターンを逐次前記基板上の所定のショット領域に露光する投影露光方法において、前記基板上の前記投影光学系による露光領域に対して前記第2の方向の手前側の先読み領域で前記投影光学系の光軸方向の位置を計測し、該計測結果に基づいて前記基板の前記光軸方向の位置を調整するに際し、前記基板を走査開始位置に移動させたときに前記先読み領域を前記所定のショット領域と前記投影光学系による露光領域との間に位置させることを特徴とする走査露光方法。

IPC (2件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 521

FI (2件)：

H01L 21/30 518 ,  H01L 21/30 514 C

引用特許：

出願人引用 (5件)

• 投影露光装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-346073   出願人：株式会社ニコン
• 露光方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-042426   出願人：株式会社ニコン
• 走査露光方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-114196   出願人：株式会社ニコン
• 特開平4-350925
  
• 特開平4-116414