磁気ヘッドスライダ製造装置及び磁気ヘッドスライダ製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴江武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-340692
公開番号（公開出願番号）：特開平9-180389
出願日： 1995年12月27日
公開日（公表日）： 1997年07月11日
要約：

【要約】【課題】リセスの低減を図ることができる磁気ヘッドスライダ製造装置を提供すること。【解決手段】気体膜を介して浮上する浮上面を有し且つ浮上面側にギャップが開口する薄膜磁気ヘッドを内蔵する磁気ヘッドスライダWの浮上面を加工して所定の磁気ギャップ深さを得る磁気ヘッドスライダ製造装置30において、磁気ヘッドスライダWを保持する保持治具74と、保持治具74に対向して設けられ保持治具74に保持された磁気ヘッドスライダWの浮上面を研磨するラップ盤44とを備え、ラップ盤44は、板状のラップ盤本体と、このラップ盤本体表面にその一部を露出させて埋め込まれて固定された砥粒とを具備するようにした。

請求項（抜粋）：

気体膜を介して浮上する浮上面を有し且つ上記浮上面側にギャップが開口する薄膜磁気ヘッドを内蔵する磁気ヘッドスライダの上記浮上面を加工して所定の磁気ギャップ深さを得る磁気ヘッドスライダ製造装置において、上記磁気ヘッドスライダを保持する保持治具と、上記保持治具に対向して設けられ上記保持治具に保持された上記磁気ヘッドスライダの上記浮上面を研磨するラップ盤とを備え、上記ラップ盤は、板状のラップ盤本体と、このラップ盤本体表面にその一部を露出させて埋め込まれて固定された砥粒とを具備することを特徴とする磁気ヘッドスライダ製造装置。

IPC (3件)：

G11B 21/21 101 , B24B 37/04 , G11B 5/60

FI (3件)：

G11B 21/21 101 L , B24B 37/04 A , G11B 5/60 C

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