特許
J-GLOBAL ID：200903040510451659
加速度センサ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
本多 小平 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-256488
公開番号（公開出願番号）：特開平6-109760
出願日： 1992年09月25日
公開日（公表日）： 1994年04月22日
要約：
【要約】 (修正有)【目的】Gセンサチップが正常であるか否かを診断することができる加速度センサを提供する。【構成】歪みゲージ4を設けてなるGセンサチップ3の基端部12を、ベースプレート1に固定するために、その基端部12とベースプレート1との間に介在せしめる台座として圧電素子13を使用し、さらにこの圧電素子13には、交流信号の供給源14を接続しているものである。なお圧電素子13を診断手段とする。Gセンサチップ3が正常であるか否かの診断を行なうときは、圧電素子13に所定周波数の交流を供給すると、該圧電素子13は、電歪作用により、伸縮動作を繰返し振動する。この圧電素子の振動はGセンサチップ3に伝達され、その振動レベルに対応した出力が歪みゲージ4より出力される。
請求項（抜粋）：
方形をなして、少なくともその一辺がベースプレート(1)に固定支持され、しかもセンサ(4)が設けられている加速度感知部(5)と質量保持部(6)とが一体に形成されているGセンサチップ(3)を有する加速度センサにおいて、上記Gセンサチップ(3)の基端部(12)を、ベースプレート(1)に固定するための中間台座として、圧電素子材(13)による診断手段を使用したことを特徴とする加速度センサ。
IPC (2件)：
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