特許

J-GLOBAL ID：200903040514470127

変位検出装置、露光装置、およびデバイス製造方法

発明者： 正田 隆博
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 山口 孝雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-082496
公開番号（公開出願番号）：特開2009-236653
出願日： 2008年03月27日
公開日（公表日）： 2009年10月15日
要約：

【課題】 例えばガラス基板の表面に付着した異物の影響を抑えて、ガラス基板の面位置の変位を高精度に検出することのできる変位検出装置。【解決手段】 被検面(20a)の面位置の変位を検出する変位検出装置は、光源(LS)からの光に基づいて対物レンズ(5)により一旦集光点(P)を形成した後に被検面としての物体(20)の表面に照射する照射系(IL:1,2,3,4,5)と、被検面で反射され且つ対物レンズを経た光に基づいて被検面の面位置の変位を検出する検出系(DS:5,4,3,6,7,8,9)とを備えている。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

被検面の面位置の変位を検出する変位検出装置において、 光源からの光に基づいて対物レンズにより一旦集光点を形成した後に前記被検面としての物体の表面に照射する照射系と、 前記被検面で反射され且つ前記対物レンズを経た光に基づいて前記被検面の面位置の変位を検出する検出系とを備えていることを特徴とする変位検出装置。

IPC (4件)：

G01B 11/00 ,  G03F 7/20 ,  H01L 21/027 ,  G01C 3/06

FI (5件)：

G01B11/00 B ,  G03F7/20 521 ,  H01L21/30 515D ,  H01L21/30 526A ,  G01C3/06 120P

Fターム (28件)：

2F065AA02 ,  2F065AA06 ,  2F065AA09 ,  2F065AA20 ,  2F065BB01 ,  2F065BB22 ,  2F065DD13 ,  2F065EE02 ,  2F065FF10 ,  2F065GG06 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ22 ,  2F065LL08 ,  2F065LL36 ,  2F065LL37 ,  2F112AB01 ,  2F112BA06 ,  2F112BA20 ,  2F112CA13 ,  2F112DA04 ,  2F112DA06 ,  2F112DA10 ,  2F112DA13 ,  2F112DA25 ,  5F046CB20 ,  5F046DA14 ,  5F046DB05 ,  5F046DC09

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 特開平4-366711号公報