特許

J-GLOBAL ID：200903040519771532

電子顕微鏡用試料作製装置

発明者： 笹氣 正司 ,  小池 英巳
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-063007
公開番号（公開出願番号）：特開平9-257670
出願日： 1996年03月19日
公開日（公表日）： 1997年10月03日
要約：

【要約】【課題】FIBを用いた電子顕微鏡用試料作製装置において、FIB加工できるアモルファス層を効率よく低減することのできる装置を提供する。【解決手段】FIB装置の試料室に、イオンミリング機構部を設けて、FIBによる電子顕微鏡用試料作製後に、イオンミリング機構部からFIBの加速電圧より低い加速電圧のイオンを照射してアモルファス層を取り除く。また、イオンミリング機構部と試料の間にシャッタを設けて、安定したイオンミリングができるように制御する。

請求項（抜粋）：

集束イオンビームを走査して試料表面の形状観察と試料のスパッタリング加工ができる機能を備えた電子顕微鏡用試料作製装置において、上記集束イオンビームよりも低いエネルギのイオンを試料に照射することができるイオンミリング機構部を備えたことを特徴とする電子顕微鏡用試料作製装置。

IPC (5件)：

G01N 1/28 ,  H01J 37/20 ,  H01J 37/30 ,  H01L 21/3065 ,  H01L 21/66

FI (6件)：

G01N 1/28 G ,  H01J 37/20 F ,  H01J 37/30 Z ,  H01L 21/66 J ,  G01N 1/28 F ,  H01L 21/302 D