特許
J-GLOBAL ID：200903040522369230
流量制御装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
秋本 正実
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-174015
公開番号（公開出願番号）：特開平8-036420
出願日： 1994年07月26日
公開日（公表日）： 1996年02月06日
要約：
【要約】【目的】 テーブル情報の誤差,弁の開度の経時的変化やばらつき等が発生しても、的確に補正することができる流量制御装置【構成】 CPU17が圧力センサ7,8からの検出圧に基づきサーボ弁3に対する開度を選定するが、その際、加算回路9は、実際に負荷側に流れる流量と目標流量F1とに差がない場合には選定した開度でサーボ弁3を制御し、また負荷側に流れる流量と目標流量F1とに差がある場合には、その差を吸収するよう前記選定したサーボ弁3の開度を補正し、補正した開度でサーボ弁3を制御し、従って、誤差やばらつきに拘ることなく流量制御を的確に行う。
請求項（抜粋）：
配管を通る流体の供給量を制御するサーボ弁と、流体の前記サーボ弁より上流側及び下流側の圧力を夫々検出する検出器と、夫々の検出器からの検出圧に基づきサーボ弁の開度を制御する手段とを有する流量制御装置において、流体の前記サーボ弁を通過した下流側の流量を計測する計測手段と、夫々の検出器からの検出圧の差圧を求めると共に、その差圧に応じサーボ弁の開度を選定する選定手段と、測定手段によって計測された流量と目標流量との差を求め、該求めた差と前記選定されたサーボ弁の開度とに基づいてサーボ弁の開度を補正する補正手段とを有することを特徴とする流量制御装置。
IPC (3件)：
G05D 7/06
, F02C 9/00
, G01F 1/00
