プラズマクリーニング機構を備えた電子線装置

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-089715
公開番号（公開出願番号）：特開平8-288247
出願日： 1995年04月14日
公開日（公表日）： 1996年11月01日
要約：

【要約】【目的】真空容器内の定期的なクリーニングによる装置のリフレッシュ(再生)を短時間で行うことができ、その結果、装置の使用効率を一段と向上させることができる電子線装置を提供すること。【構成】減圧された真空容器6内において、電子線を用いて対象物の観察または処理を行う電子線装置において、前記減圧された真空容器6内に存在する不要物を除去するための、プラズマクリーニング機構を設けたことを特徴とする電子線装置。

請求項（抜粋）：

減圧された真空容器内において、電子線を用いて対象物の観察または処理を行う電子線装置において、前記減圧された真空容器内に存在する不要物を除去するための、プラズマクリーニング機構を設けたことを特徴とする電子線装置。

IPC (2件)：

H01L 21/304 341 , B08B 3/10

FI (2件)：

H01L 21/304 341 D , B08B 3/10 Z

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