特許

J-GLOBAL ID：200903040522886200

垂直配向ラメラ構造を有するブロック共重合体膜作製方法

発明者： 橋本 竹治 ,  イーサン シバニア
出願人/特許権者： 関西ティー・エル・オー株式会社
代理人 (2件)： 小林 良平 ,  竹内 尚恒
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-260512
公開番号（公開出願番号）：特開2004-099667
出願日： 2002年09月05日
公開日（公表日）： 2004年04月02日
要約：

【課題】モノマーA及びBから成るブロック共重合体が、Aのモノマー単位から成るAラメラ及びBのモノマー単位から成るBラメラにミクロ相分離し、基板に対して垂直かつ交互に配列するように形成された、垂直配向ラメラ構造を有するブロック共重合体膜を、容易に作製する方法を提供する。【解決手段】ITO、Si、SiOx、カーボン、ポリイミド樹脂など、使用目的に応じた、無機化合物基板、有機化合物基板のうち、所定の特性表面粗さ以上の基板を使用し、その上に樹脂を載置し、加熱して膜を作製する。これにより、基板に対して垂直配向ラメラ構造を有するブロック共重合体膜が作製される。【選択図】 図3

請求項（抜粋）：

所定値以上の特性表面粗さを有する基板上にブロック共重合体樹脂を載置した後、該樹脂を熱処理することにより、垂直配向ラメラ構造を有するブロック共重合体膜を作製する方法。

IPC (1件)：

C08J5/18

FI (1件)：

C08J5/18

Fターム (9件)：

4F071AA22X ,  4F071AA33X ,  4F071AA75 ,  4F071AG28 ,  4F071BA02 ,  4F071BB02 ,  4F071BB13 ,  4F071BC02 ,  4F071BC08