特許
J-GLOBAL ID：200903040525049997
レーザ変位計
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
森本 義弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-293732
公開番号（公開出願番号）：特開平7-146113
出願日： 1993年11月25日
公開日（公表日）： 1995年06月06日
要約：
【要約】【構成】 レーザ光を物体Aに照射するレーザ照射器2と、物体の表面から反射した反射レーザ光をレンズ3を通して受光するイメージセンサ4と、このイメージセンサからの受光信号を入力するとともに、その反射レーザ光の光強度のピーク位置を算出する信号処理装置9とから構成し、この信号処理装置において、イメージセンサ4で受光した反射レーザ光の光強度分布曲線を最小自乗法により算出するとともに、この算出された光強度分布曲線のピーク値に基づき、反射レーザ光の受光位置を求めるように構成したものである。【効果】 反射レーザ光の広がりまたは物体表面の性状の不均一性などに基づく測定誤差を除去し得るので、反射レーザ光における正確なピーク値の位置を求めることができ、したがって物体の変位量の測定精度の向上を図ることができる。
請求項（抜粋）：
レーザ光を被測定物に照射するとともに、その反射レーザ光をイメージセンサにより受光して、その受光位置の変位に基づき、被測定物の変位量を測定するレーザ変位計であって、レーザ光を被測定物に照射するレーザ照射器と、被測定物の表面から反射した反射レーザ光をレンズを通して受光するイメージセンサと、このイメージセンサからの受光信号を入力するとともに、その反射レーザ光の光強度のピーク位置を算出する信号処理装置とから構成し、かつこの信号処理装置において、上記イメージセンサで受光した反射レーザ光の光強度分布曲線を最小自乗法により算出するとともに、この算出された光強度分布曲線のピーク値に基づき、反射レーザ光の受光位置を求めるように構成したことを特徴とするレーザ変位計。
引用特許：
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