酸化物薄膜およびその形成法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：坂本栄一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-291749
公開番号（公開出願番号）：特開平6-136545
出願日： 1992年10月29日
公開日（公表日）： 1994年05月17日
要約：

【要約】【構成】ガラス基板の表面上に形成した薄膜が、金属アルコキシド系化合物或いは金属アセチルアセトネート系化合物の中から少なくとも1種以上の化合物を用い、溶剤と共に加水分解並びに縮重合反応をさせ、固形分濃度が酸化物換算で0.01〜0.2 wt%であるコーティング溶液とし、更に増粘剤を無添加または添加でもって該コーティング溶液の粘度が2〜10cP となるよう調製した後、該調製コーティング溶液を被膜し、加熱成膜して成るゾルゲル膜であることを特徴とする酸化物薄膜。並びに被膜手段が脱気付カーテンフローコーティング法であり、成膜したゾルゲル膜が1000nm以下の膜厚である酸化物薄膜。及びその形成法。【効果】手軽に容易な膜形成手段でもって薄膜を安価に格段に効率よく得られ、該薄膜は光学特性を損なうことなく、密着性、耐候性等に優れるものとなる等、建築用もしくは自動車用窓材をはじめ、各種ガラス物品等、種々の被覆膜に広く採用できる利用価値の高いものとなる。

請求項（抜粋）：

ガラス基板の表面上に形成した薄膜が、金属アルコキシド系化合物あるいは金属アセチルアセトネート系化合物のなかから少なくとも1種以上の化合物を用いて、溶剤とともに加水分解ならびに縮重合反応をせしめ、固形分濃度が酸化物換算で0.01〜0.2 wt%であるコーティング溶液とし、さらに増粘剤を無添加または添加でもって該コーティング溶液の粘度が2〜10cP となるよう調製した後、該調製コーティング溶液を被膜し、加熱成膜して成るゾルゲル膜であることを特徴とする酸化物薄膜。

IPC (4件)：

C23C 18/12 , B60J 1/00 , C03C 17/25 , C03C 17/30

引用特許：

審査官引用 (5件)

特開昭53-017648
特開昭53-129237
特開昭61-148053

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