特許

J-GLOBAL ID：200903040531556213

半導体装置の検査方法及び検査装置

発明者： 相原 智彰
出願人/特許権者： 日本電気株式会社
代理人 (1件)： 金田 暢之 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-114045
公開番号（公開出願番号）：特開2001-296335
出願日： 2000年04月14日
公開日（公表日）： 2001年10月26日
要約：

【要約】【課題】 高速に動作する半導体装置を検査する際に、半導体テスタでのドライバ数を増やすことなく同時に検査できる個数を増やせるようにする。【解決手段】 テスタ11内の1つのドライバ12b(12c)からの信号を分岐して検査対象の複数の半導体装置14a,14bの入力端子15b,15e(15c,15f)に供給するコモンドライブ配線において、プローブカード13内の分岐点16a(16b)と各端子15b,15e(15c,15f)の間にそれぞれ抵抗17を挿入し、さらにこの抵抗に並列にコンデンサ18を接続する。コンデンサ18の容量値は、各端子の入力容量値より大きくする。

請求項（抜粋）：

入力信号用の端子を有する複数の半導体装置を同時に検査する検査方法であって、検査に使用する信号を出力するドライバを用意し、前記ドライバの出力端を分岐点に接続し、複数の前記半導体装置の前記端子と前記分岐点とをそれぞれ電流制限素子と該電流制限素子に対して並列に接続されたコンデンサとを介して接続し、前記分岐点に向けて前記ドライバから信号を出力する半導体装置の検査方法。

IPC (2件)：

G01R 31/28 ,  H01L 21/66

FI (4件)：

H01L 21/66 W ,  G01R 31/28 Y ,  G01R 31/28 H ,  G01R 31/28 P

Fターム (12件)：

2G032AA03 ,  2G032AA07 ,  2G032AF01 ,  2G032AG07 ,  2G032AH04 ,  2G032AL11 ,  4M106AA01 ,  4M106AB07 ,  4M106CA04 ,  4M106CA05 ,  4M106DD10 ,  4M106DD11