特許

J-GLOBAL ID：200903040534258442

欠陥検査方法及び装置

発明者： 鶴岡 真介
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 高梨 幸雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-317699
公開番号（公開出願番号）：特開2003-121377
出願日： 2001年10月16日
公開日（公表日）： 2003年04月23日
要約：

【要約】【課題】 被検査物の突発的な表面状態の変化によらずに安定した光量調整を行うことを目的とする。【解決手段】 被検査物の表面状態を撮像するCCDラインセンサと、前記CCDラインセンサ出力より欠陥を判別する画像処理部と、CCDラインセンサの信号レベルを得ることが可能なA/D変換部と、照明手段および光量調整部とからなり、CCDラインセンサ出力の信号レベルとあらかじめ設定されている目標値との差に所定の係数を乗算し、その乗算値と前回の検査の時の信号レベル値との和を、最適照明光量の指示値とすることを特徴とする。

請求項（抜粋）：

被検査物の表面状態を検査する欠陥検査装置であって、被検査物の表面状態を撮像するCCDラインセンサと、前記CCDラインセンサ出力より欠陥を判別する画像処理部と、前記CCDラインセンサ出力をA/D変換することで、CCDラインセンサの信号レベルを得ることが可能なA/D変換部と、被検査物を照明する照明手段と、前記照明手段の光量を調整する光量調整部とからなり、前記CCDラインセンサ出力の信号レベルとあらかじめ設定されている目標値との差に所定の係数を乗算し、その乗算値と前回の検査の時の信号レベル値との和を、最適照明光量の指示値とすることを特徴とする欠陥検査装置。

IPC (3件)：

G01N 21/952 ,  G03G 5/00 101 ,  G03G 21/00

FI (3件)：

G01N 21/952 ,  G03G 5/00 101 ,  G03G 21/00

Fターム (14件)：

2G051AA90 ,  2G051AB07 ,  2G051BC01 ,  2G051CA03 ,  2G051CA07 ,  2G051DA08 ,  2G051EA11 ,  2G051EB01 ,  2G051EC02 ,  2G051EC03 ,  2H068AA54 ,  2H068EA41 ,  2H068FB05 ,  2H134QA02