特許

J-GLOBAL ID：200903040536091561

金属薄膜を測定するための改善された光学的方法

発明者： マズネヴ,アレックス
出願人/特許権者： コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ
代理人 (1件)： 伊東 忠彦
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-514548
公開番号（公開出願番号）：特表2003-506675
出願日： 2000年07月19日
公開日（公表日）： 2003年02月18日
要約：

【要約】サンプルの特性を測定する方法及びシステムが開示されている。少なくとも1つの励起放射源が、サンプル面を照射するのに使用される。これはサンプル内の複数のアコースティックモードを励起する。放射のプルーブ源は、信号ビームを発生するためにアコースティックモードを回折する。信号ビームは検出され信号波形を生じ、それからフーリエ変換が得られる。フーリエ変換スペクトルは複数のアコースティックモードに対応する周波数を特徴とする。スペクトルの分析は、サンプル特性の測定値を生じる。

請求項（抜粋）：

多層構造の特性を決定する方法であって、 少なくとも2つの励起パルスを発生するステップと、 構造の少なくとも一部により変調応答を起こす2つの励起パルスを使用して、構造上に又は構造内に励起パターンを形成するステップと、 変調応答に基づき、少なくとも2つの副成分周波数値を含む信号を検出するステップと、 構造の少なくとも2つの特性を決定するために信号を分析するステップとを有する方法。

IPC (3件)：

G01N 29/00 501 ,  G01N 21/00 ,  G01R 27/02

FI (3件)：

G01N 29/00 501 ,  G01N 21/00 A ,  G01R 27/02 R

Fターム (21件)：

2G028BC02 ,  2G028CG02 ,  2G028GL06 ,  2G047AA06 ,  2G047AB05 ,  2G047BC14 ,  2G047BC18 ,  2G047CA04 ,  2G047GG12 ,  2G047GG19 ,  2G059AA01 ,  2G059AA03 ,  2G059BB10 ,  2G059BB16 ,  2G059EE16 ,  2G059EE17 ,  2G059GG01 ,  2G059GG08 ,  2G059KK01 ,  2G059MM01 ,  2G059MM10