特許

J-GLOBAL ID：200903040537208837

薄膜形成装置のClF3 によるクリーニングの終点検知法

発明者： 斎藤 晴光 ,  福永 明
出願人/特許権者： 株式会社荏原製作所
代理人 (1件)： 吉嶺 桂 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-264675
公開番号（公開出願番号）：特開平9-078267
出願日： 1995年09月20日
公開日（公表日）： 1997年03月25日
要約：

【要約】【課題】 薄膜形成装置のClF3 によるクリーニングにおいて、クリーニングの終点を正確に検知する。【解決手段】 薄膜形成装置1内に堆積した薄膜のClF3 を用いるクリーニングにおいて、前記薄膜形成装置1から排出するクリーニング排ガスを鉄酸化物等の吸着剤を充てんした吸着剤槽4に導入し、該吸着剤槽に生じる温度変化を測定5することにより前記クリーニングの終点をモニターすることによる。

請求項（抜粋）：

薄膜形成装置内に堆積した薄膜のClF3 を用いるクリーニングにおいて、前記薄膜形成装置から排出するクリーニング排ガスを吸着剤を充てんした吸着剤槽に導入し、該吸着剤槽に生じる温度変化を測定することにより、前記クリーニングの終点をモニターすることを特徴とする薄膜形成装置のClF3 によるクリーニングの終点検知法。

IPC (4件)：

C23F 4/00 ,  C23C 16/50 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/304 341

FI (4件)：

C23F 4/00 F ,  C23C 16/50 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/304 341 Z