特許

J-GLOBAL ID：200903040538373351

加速度検出素子

発明者： 壺井 修 ,  北村 芳隆
出願人/特許権者： 富士通株式会社
代理人 (1件)： 井桁 貞一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-324564
公開番号（公開出願番号）：特開平6-138142
出願日： 1992年12月04日
公開日（公表日）： 1994年05月20日
要約：

【要約】【目的】 マイクロマシン技術による加速度検出素子に関し、弾性で撓む上部電極が下部電極側に突き当たり固定された際にその上部電極を強制的に離間できて、上部電極の正常な状態の維持を可能にさせる加速度検出素子を提供する。【構成】 重り部1が窓を有する固定部2に梁3によって該窓内に懸架され、固定部2上の該窓近傍に配設された下部電極4と、下部電極4上を間隙を介して跨ぎ一端が固定部2に他端が重り部1に固定された弾性導電体の上部電極5と、を有する加速度検出素子であって、上部電極5上を有間隙に跨ぎ両端を固定部2に固定した補助電極7を設けた構成にし、上記離間は上部電極5と補助電極7の間に電圧を印加して行う。また、上部電極5の撓みを制限して上部電極5の下部電極4への接触を阻止する絶縁部材8を設けた構成にし、上記離間は上部電極5と補助電極7に同じ極性の電荷を与えて行う。

請求項（抜粋）：

加速を受ける重り部が窓を有する板状の固定部に梁によって該窓内に空間を介して懸架され、該固定部上の該窓近傍に配設された下部電極と、弾性導電体よりなり該下部電極上を間隙を介して跨ぎ一端が該固定部に他端が該重り部に固定された上部電極と、を有する加速度検出素子であって、該上部電極上を間隙を介し交差して跨ぎ両端を該固定部に固定した補助電極が設けられていることを特徴とする加速度検出素子。