特許
J-GLOBAL ID：200903040538498804
光学部品の特性測定装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高田 幸彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-239296
公開番号（公開出願番号）：特開平5-079948
出願日： 1991年09月19日
公開日（公表日）： 1993年03月30日
要約：
【要約】【目的】測定試料に照射する入射角が4 ゚又は5 ゚のように鋭角において、試料に最大の光束を照射し、安定した絶対反射率及び絶対透過率を、試料を動かさないで測定する。また、試料面での光束の大きさを測定目的に応じ可変できる。【構成】分光器1とミラー2の間に可変マスク8とレンズ9を備え、ミラー7,差し換え可能なミラー3,回転可能なミラー4,集光用のためのレンズ10,光エネルギーを電気信号に交換する検出器を備えている。【効果】鋭角照射による絶対反射率と絶対透過率を構造的な寸法制約にまどわされることなく必要な距離の確保と、コンパクトな構造でエネルギー効率のよい測定ができる。また、試料面での光束の大きさを自由に可変できる。
請求項（抜粋）：
試料に一定の入射角で光を照射し反射率,透過率などの特性を測定する装置において、入射光に対し軸外し角45 ゚+β/2に設定したミラーと、軸外し角(θ+β)/2に固定したミラーと軸外し角(θ+γ)/2に設定され、かつ100%補正時と試料測定時に移動可能ミラーと軸外し角45 ゚+γ/2で100%補正時と試料測定時に回転可能に設定された回転ミラーと、軸外し角45 ゚+β/2に設定された前述ミラーに入射する入射光に平行な位置で軸外し角(θ+β)/2に設定したミラーと移動ミラーの間に試料を設定できる試料ホールダを有し、試料に照射する入射角θ,軸外し角(θ+β)/2のミラー,移動ミラーの軸外し角(θ+γ)/2を任意の角に設定することによって軸外し角45 ゚+γ/2のミラーと回転ミラーの間隔を自由に設定できることを特徴とする光学部品の特性測定装置。
IPC (3件)：
G01M 11/00 ZAA
, G01N 21/55
, G01N 21/59
