特許
J-GLOBAL ID：200903040545241584
流体ユニツト
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
千葉 剛宏 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-230593
公開番号（公開出願番号）：特開平5-071500
出願日： 1991年09月10日
公開日（公表日）： 1993年03月23日
要約：
【要約】【目的】シーケンサの負担を軽減し、個別制御が可能な流体ユニットを提供することを目的とする。【構成】真空ユニット250にCPU、メモリ等を搭載したコントロールユニット260を設けたため、シーケンサが僅かな領域を制御するだけで、真空ユニット250の圧力状態を表示することや、供給弁282、真空破壊弁284等のオン/オフのタイミング制御、故障予知等が行われる。
請求項（抜粋）：
少なくとも流体の供給、遮断を行う流体ユニットであって、該流体ユニット内の状態を確認するための検出手段と、制御方法が入力されたメモリを有する制御手段と、前記流体ユニットの状態を表示する表示手段と、を備えることを特徴とする流体ユニット。
IPC (2件)：
F04F 5/48
, F04B 49/06 331
