特許

J-GLOBAL ID：200903040546066778

集積型光起電力装置の製造方法

発明者： 寺川 朗 ,  矢田 茂郎
出願人/特許権者： 三洋電機株式会社
代理人 (1件)： 鳥居 洋
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-268604
公開番号（公開出願番号）：特開2001-094131
出願日： 1999年09月22日
公開日（公表日）： 2001年04月06日
要約：

【要約】【課題】 この発明は、レーザパーターニング法において、加工不良を無くすことをその目的とする。【解決手段】 この発明は、透光性基板11の一主面上に、透明電極薄膜、非晶質半導体薄膜及び裏面金属電極薄膜をこの順序で形成した集積型光起電力装置の製造方法であって、基板に設けられた薄膜11aを加工容器6内に入れ、表面が不燃性の液体7に接した状態でレーザビームを照射してパターニングする。

請求項（抜粋）：

透光性基板の一主面上に、透明導電薄膜、非晶質半導体薄膜及び裏面金属電極薄膜をこの順序で形成した集積型光起電力装置の製造方法であって、前記いずれかの薄膜もしくは複数の薄膜を表面が不燃性の液体に接した状態でエネルギービームを照射してパターニングすることを特徴とする集積型光起電力装置の製造方法。

IPC (5件)：

H01L 31/04 ,  B23K 26/12 ,  H01L 21/302 ,  H01L 21/3213 ,  B23K101:40

FI (5件)：

B23K 26/12 ,  B23K101:40 ,  H01L 31/04 S ,  H01L 21/302 Z ,  H01L 21/88 C

Fターム (31件)：

4E068AB00 ,  4E068CJ07 ,  4E068DA09 ,  5F004AA09 ,  5F004BB03 ,  5F004BB31 ,  5F004CA05 ,  5F004DB00 ,  5F004DB08 ,  5F004DB30 ,  5F004DB31 ,  5F004EA38 ,  5F004EB02 ,  5F004FA05 ,  5F033HH03 ,  5F033HH05 ,  5F033HH40 ,  5F033QQ08 ,  5F033QQ19 ,  5F033QQ53 ,  5F033XX00 ,  5F051AA05 ,  5F051CB29 ,  5F051DA04 ,  5F051EA05 ,  5F051EA09 ,  5F051EA10 ,  5F051EA11 ,  5F051EA16 ,  5F051FA02 ,  5F051GA03