特許
J-GLOBAL ID：200903040550431740
圧力センサーおよびその製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-360125
公開番号（公開出願番号）：特開2004-191207
出願日： 2002年12月12日
公開日（公表日）： 2004年07月08日
要約：
【課題】電極形成と圧電セラミックと電極との接触を同時に行い、連続的に安定して製造のできる可撓性に富むフィルム状の圧力センサーを提供する。【解決手段】加熱時に流動する樹脂に圧電セラミック粉末を混入し、金属箔上に流延塗布し、別の金属箔を加熱圧着することによって、樹脂を流動させて、圧電セラミック粉末を金属箔と接触させた圧力センサーであり、用いられる樹脂はシリコーン変性ポリイミド、ポリアミドイミドまたは低弾性率のエポキシ樹脂であることが好ましい。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
フィルム状の絶縁樹脂中に圧電セラミック粉末が埋め込まれ、フィルム状の絶縁樹脂の表裏に金属箔からなる電極を有し、圧電セラミック粉末が絶縁樹脂を貫通して金属箔と接触している圧力センサー。
IPC (4件)：
G01L1/16
, H01L41/08
, H01L41/22
, H01L41/26
G01L1/16 B
, H01L41/08 Z
, H01L41/22 Z
, H01L41/22 C
