特許

J-GLOBAL ID：200903040552539793

研磨パッドおよび研磨装置

発明者： 小池 尚生 ,  新井 雄史 ,  池田 章彦
出願人/特許権者： 旭化成株式会社
代理人 (1件)： 森 哲也 (外2名)
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：JP2000005762
公開番号（公開出願番号）：WO2001-015861
出願日： 2000年08月25日
公開日（公表日）： 2001年03月08日
要約：

【要約】CMP法の研磨終点検知のために、研磨パッドの光透過領域に設ける透明な窓材として、積極的な屈折率分布を有する窓材(11)を使用する。この窓材(11)は、窓面内に、屈折率の高い領域(11a)と屈折率の低い領域(11b)を有する。窓面に垂直な断面内では、屈折率の高い領域(11a)と屈折率の低い領域(11b)とが交互に縞状に配置されている。窓面内でのこれらの領域(11a,11b)の配置は、第1領域(中心円)を明部(屈折率の高い領域)としたフレネルゾーンプレート配置になっている。このフレネルゾーンプレート(F)が窓材(11)の窓面内に複数個、格子状に配置されている。

請求項（抜粋）：

研磨領域と、透明な窓材からなる光透過領域とをパッド面内に有するケミカルメカニカル研磨用の研磨パッドにおいて、 窓材は、窓面内に屈折率の高い領域と低い領域を有し、各領域は、窓面に垂直な断面内で交互に縞状に配置されている研磨パッド。

IPC (3件)：

B24B 37/04 ,  B24B 37/00 ,  H01L 21/304 622

FI (3件)：

B24B 37/04 K ,  B24B 37/00 C ,  H01L 21/304 622 S