特許
J-GLOBAL ID：200903040553380780
多連式全自動ウエハーポリツシング装置とポリツシング方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山本 亮一 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-198477
公開番号（公開出願番号）：特開平5-021406
出願日： 1991年07月12日
公開日（公表日）： 1993年01月29日
要約：
【要約】 (修正有)【目的】 複数のウエハーを全自動的に鏡面加工して品質と能率の向上をはかる。【構成】 トップリング5の下端面に吸着したウエハー1の表面を、定盤3に貼付した研磨クロス4にスラリーを供給しながら擦り合わせて鏡面加工するポリッシング方法において、ウエハー供給カセット13よりウエハー1を取り出し、これをトップリング保持部12に吊下したトップリング5の下端面に吸着し、該トップリング保持部12を定盤3上に移動し、トップリング5を下降、回転し、スラリーを供給しながらウエハーを研磨クロス4に擦り合わせて鏡面加工し、加工終了後トップリング5を上昇させ、トップリング保持部12を移動してウエハー1を収納カセット24に収納する。
請求項（抜粋）：
定盤に貼付した研磨クロスにウエハー表面を擦り合わせて鏡面加工するポリッシング装置において、下記?@〜?Gを備えてなることを特徴とする多連式全自動ウエハーポリッシング装置。?@ 複数のウエハー供給カセットを保持するカセット載置台。?A 複数のウエハー供給カセットからウエハーを同時に取り出すウエハー取り出し機構。?B 取り出した各ウエハーを所定位置に停止させる複数のウエハーセンタリング機構。?C ウエハーセンタリング機構のつぎに位置するウエハー鏡面加工用研磨クロスを貼付した定盤。?D 定盤のつぎに位置するウエハー受け取り部。?E 下端面にウエハーを吸着して、研磨クロスに押圧し鏡面加工する複数のトップリング。?F 複数のトップリングを吊下してウエハーセンタリング機構上、定盤上およびウエハー受け取り部上の間を走行可能なトップリング保持部。?G 鏡面加工終了後各ウエハーを、それぞれ別のウエハー収納カセットに収納するウエハー収納機構。
IPC (2件)：
H01L 21/304 321
, B24B 37/04
