積層型圧電アクチュエータ

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：大川宏
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-004237
公開番号（公開出願番号）：特開2003-298134
出願日： 2003年01月10日
公開日（公表日）： 2003年10月17日
要約：

【要約】【課題】圧電板の圧電特性の劣化の少ない積層型圧電アクチュエータを提供することである。【解決手段】本発明の積層型圧電アクチュエータは、電極層の電極材料が金属成分と電気伝導酸化物とを含んでなることを特徴とする。すなわち、電極材料に酸素イオンをキャリアとする電気伝導酸化物を添加することにより圧電材料中に電極から酸素を供給することで圧電板の劣化を防止することができる。

請求項（抜粋）：

圧電板と、内部電極層とが交互に積層された積層型圧電アクチュエータであって、前記内部電極層の電極材料が金属成分と電気伝導酸化物とを含んでなることを特徴とする積層型圧電アクチュエータ。

IPC (2件)：

H01L 41/083 , H01L 41/187

FI (2件)：

H01L 41/08 Q , H01L 41/18 101 D

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