特許

J-GLOBAL ID：200903040560347682

固体撮像装置の製造方法

発明者： 柳 竜也
出願人/特許権者： ソニー株式会社
代理人 (1件)： 船橋 國則
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-318476
公開番号（公開出願番号）：特開2000-150844
出願日： 1998年11月10日
公開日（公表日）： 2000年05月30日
要約：

【要約】【課題】 パッケージにシールガラスを接合するにあたって、樹脂の塗布条件を厳密に調整しなくても、パッケージの内圧上昇を確実に回避し、かつパッケージ内を気密状態とすることができる固体撮像装置の製造方法を提供する。【解決手段】 パッケージ1の凹部2底面に固体撮像素子6の搭載領域を避けて貫通穴7を形成しておき、パッケージ1のシール面3に樹脂4を用いてシールガラス5を接合した後は、貫通穴7を樹脂の注入によって塞ぐ。

請求項（抜粋）：

パッケージの凹部内に固体撮像素子を収納固定したのち、前記凹部の開口を塞ぐ状態で前記パッケージにシールガラスを接合し、前記凹部内に前記固体撮像素子を封止する固体撮像装置の製造方法において、前記シールガラスを接合する前に、前記凹部に連通する状態で前記パッケージに貫通穴を形成しておき、その後、前記パッケージに前記シールガラスを接合したのち、前記貫通穴を塞ぐことを特徴とする固体撮像装置の製造方法。

IPC (3件)：

H01L 27/14 ,  H01L 23/02 ,  H01L 27/148

FI (4件)：

H01L 27/14 D ,  H01L 23/02 G ,  H01L 23/02 D ,  H01L 27/14 B

Fターム (7件)：

4M118AA10 ,  4M118AB01 ,  4M118BA10 ,  4M118HA01 ,  4M118HA02 ,  4M118HA11 ,  4M118HA24