特許
J-GLOBAL ID：200903040562007668
表面形状測定装置
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-047484
公開番号（公開出願番号）：特開2000-241114
出願日： 1999年02月25日
公開日（公表日）： 2000年09月08日
要約：
【要約】【課題】 従来の焦点検出装置を用いて被検物体の表面形状を測定するためには、集光された光スポットを静止した被検物体表面全体にわたって走査させる必要がある。従来、被検物体上に集光された光スポット即ち計測点スポットが1点のため、被検物体全体の計測に長時間かかってしまうという問題があった。【解決手段】本発明の表面形状測定装置は、被検物体上の2点以上に同時に光を照射するための照射部と、被検物体上の各照射点からの各反射光を同時に検出するための検出部とを具え、検出部に各反射光を入射させるための基板上に形成された各チャネル導波路を具える。
請求項（抜粋）：
被検物体上の2点以上に同時に光を照射するための照射部と、前記被検物体上の各照射点からの各反射光を同時に検出するための検出部とを具え、前記検出部が、前記検出のために前記各反射光を入射させるための基板上に形成された各チャネル導波路を具えることを特徴とする表面形状測定装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01B 11/00 B
, G01B 11/24 A
2F065AA49
, 2F065BB01
, 2F065CC19
, 2F065DD06
, 2F065FF51
, 2F065HH04
, 2F065JJ05
, 2F065LL00
, 2F065LL04
, 2F065UU07
