特許
J-GLOBAL ID：200903040565358143
走査型プローブ顕微鏡に組み込む観察光学系
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-317396
公開番号（公開出願番号）：特開平6-160077
出願日： 1992年11月26日
公開日（公表日）： 1994年06月07日
要約：
【要約】【目的】ピントの合った試料表面の観察像を得ることのできる、走査型プローブ顕微鏡に組み込む観察光学系を提供する。【構成】観察光学系は対物レンズ12と結像レンズ14と撮像素子16を有している。対物レンズ12は、カンチレバー18の自由端に設けた探針による測定を行なう際、その前側焦点面がカンチレバー18の背面に来るように配置される。図にはこのときの位置で描かれている。結像レンズ14の上方には、撮像素子16が光軸に沿って移動可能に配置されている。対物レンズ12と結像レンズ14との間には、変位検出器24からの変位検出光を対物レンズ12へ入射させるためのハーフミラー26が設けられている。変位検出器24は対物レンズ12と相俟って変位検出光学系を構成し、カンチレバー18の自由端の背面に光を照射し、その反射光を受光してカンチレバー18の自由端の変位を検出する。
請求項（抜粋）：
カンチレバーに支持された探針とその変位を検出する変位検出光学系とを備えた走査型プローブ顕微鏡に組み込む観察光学系であって、変位検出光学系と共用する対物レンズと、対物レンズからの光を結像させる結像レンズと、結像した像を検知する撮像素子と、結像レンズと撮像素子の間の光学的距離を変える手段とを備えている、走査型プローブ顕微鏡に組み込む観察光学系。
IPC (3件)：
G01B 21/30
, G01B 7/34
, H01J 37/28
