特許
J-GLOBAL ID：200903040566566955
ウェハ用真空チャック
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
深見 久郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-030567
公開番号（公開出願番号）：特開平10-229115
出願日： 1997年02月14日
公開日（公表日）： 1998年08月25日
要約：
【要約】【課題】 機械加工によって容易に製作することができ、蓄熱が起こりやすい用途においてもウェハの平坦度を高精度に保つことができ、異物の付着が少ないウェハ用真空チャックを提供する。【解決手段】 真空源に接続してウェハを吸引保持するためのウェハ用真空チャック11は、ウェハを保持すべき側の表面にSiC、TiC、TiN等の導電性材料からなる被覆層が設けられた窒化アルミニウムセラミックスからなっている。
請求項（抜粋）：
真空源に接続してウェハを吸引保持するためのウェハ用真空チャックであって、ウェハを保持すべき側の表面に導電性材料の被覆層が設けられた窒化アルミニウムセラミックスからなることを特徴とする、ウェハ用真空チャック。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 21/68 P
, B23Q 3/08 A
