特許

J-GLOBAL ID：200903040568872301

走査形電子顕微鏡における観察条件支援装置

発明者： 北澤 貢
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所 ,  株式会社日立サイエンスシステムズ
代理人 (1件)： 作田 康夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-164726
公開番号（公開出願番号）：特開2001-338603
出願日： 2000年05月30日
公開日（公表日）： 2001年12月07日
要約：

【要約】【課題】従来、走査形電子顕微鏡に記憶されている観察条件は、メーカーの一方的な押付け的な要素があり、観察試料によっては全く意味を持たない観察条件となる。さらに、初心者においては、試料の特性(導電性試料・絶縁試料等)を把握していないため、使用可能な観察条件が登録されていても選択することができない。【解決手段】試料台に設置された試料の特性、例えば導電性試料か、絶縁性試料か等を自動的に判別する機構を持った観察条件支援装置を備えることで試料の特性を気にすることなく観察が行える。さらに本観察条件支援装置は、試料に適した観察条件を決める場合、自動で決める項目と、操作者の選択により決める項目を組合わせることでより木目のこまかい観察条件設定が行えることで、的確な観察条件を素早く見つけることを可能としている。

請求項（抜粋）：

電子銃と、電子銃から発生する電子線がレンズ系の中心を通過するように補正するガンアライメントコイルと、電子線を細く絞る収束(コンデンサ)レンズと、前記収束レンズで収束された電子線を試料上で走査させる偏向コイルと、走査に伴い試料から出力される情報信号を検出する検出器と、さらに情報信号をCRTに表示する表示回路を備えた走査形電子顕微鏡の観察条件(観察条件とは上記で述べた各項目の設定値あり、加速電圧値・ビーム電流値・倍率値等である)設定において、試料台に設置された試料が導電性試料か、絶縁性試料か自動的に特性を判別する機構を有することで、操作者が試料の特性判断をすることな観察条件に特性が反映される観察条件支援装置を備えたことを特徴とする走査形電子顕微鏡。

IPC (4件)：

H01J 37/28 ,  G01N 23/225 ,  H01J 37/20 ,  H01J 37/24

FI (4件)：

H01J 37/28 B ,  G01N 23/225 ,  H01J 37/20 Z ,  H01J 37/24

Fターム (23件)：

2G001AA03 ,  2G001BA07 ,  2G001CA03 ,  2G001FA06 ,  2G001GA06 ,  2G001GA09 ,  2G001GA11 ,  2G001GA16 ,  2G001GA17 ,  2G001HA13 ,  2G001JA02 ,  2G001JA03 ,  2G001JA13 ,  2G001JA14 ,  2G001JA19 ,  2G001JA20 ,  2G001PA07 ,  2G001QA01 ,  5C001BB07 ,  5C001CC04 ,  5C033UU03 ,  5C033UU04 ,  5C033UU10