ミリ波・遠赤外光検出器

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：平山一幸 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-334196
公開番号（公開出願番号）：特開2001-119041
出願日： 1999年11月25日
公開日（公表日）： 2001年04月27日
要約：

【要約】【課題】桁違いに感度が優れ、かつ、応答速度の早いミリ波・遠赤外光検出器を提供する。【解決手段】入射するミリ波・遠赤外光を検出器のアンテナに導くためのミリ波・遠赤外光導入部1と、半導体量子ドットを貫く電流を制御する単一電子トランジスタが形成されている半導体基板4と、単一電子トランジスタに形成されたサブミクロンサイズの微小空間領域である半導体量子ドットにミリ波・遠赤外光を集中するボータイ・アンテナ6とを備える。2次元電子系を形成する量子ドットが能率良く集中した電磁波を吸収し、生じた励起状態を10n秒以上保持し、単一光子の吸収に対して100万個以上の電子を移送可能にする。

請求項（抜粋）：

電磁波をサブミクロンサイズの微少空間領域に集中する電磁波結合手段と、この集中した電磁波を吸収して電子準位間に励起状態を生ずる量子ドットと、この量子ドットを含んだ単一電子トランジスタとを備えたミリ波・遠赤外光検出器。

IPC (6件)：

H01L 31/02 , G01J 1/02 , G01R 29/08 , H01L 29/06 , H01L 29/66 , H01L 29/80

FI (6件)：

G01J 1/02 B , G01R 29/08 F , H01L 29/06 , H01L 29/66 , H01L 31/02 A , H01L 29/80 A

Fターム (25件)：

2G065AA04 , 2G065AB03 , 2G065BA07 , 2G065BA14 , 2G065BE08 , 2G065CA15 , 2G065DA20 , 5F088AA09 , 5F088AB01 , 5F088AB02 , 5F088AB07 , 5F088BA01 , 5F088BA02 , 5F088BB06 , 5F088DA03 , 5F088HA20 , 5F088LA00 , 5F102FB05 , 5F102FB07 , 5F102GB01 , 5F102GC01 , 5F102GD10 , 5F102GJ02 , 5F102GJ05 , 5F102GQ01

引用特許：

審査官引用 (6件)

光学装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-273727 出願人：株式会社東芝
単一電子素子およびその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-072827 出願人：日本電気株式会社
光検出器
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-204224 出願人：ソニー株式会社

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引用文献：

審査官引用 (2件)

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