特許

J-GLOBAL ID：200903040570545520

静圧動圧検知センサ

発明者： 藤井 優子 ,  金澤 成寿
出願人/特許権者： 松下電器産業株式会社
代理人 (1件)： 岩橋 文雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-300690
公開番号（公開出願番号）：特開2003-106919
出願日： 2001年09月28日
公開日（公表日）： 2003年04月09日
要約：

【要約】【課題】 従来の圧力センサは、静圧と動圧を同一センサでに高精度で検知できないという課題があった。【解決手段】 本発明は、一方の面に第一の電極11、他方の面に第二の電極12が形成された圧電材料からなる固定基板13と、一方の面に第三の電極14、他方の面に第四の電極15が形成された圧電材料からなるダイアフラム16と、前記第二12の電極と前記第三の電極13の少なくとも一方の周縁部に接着層17を備え、前記第二の電極12と前記第三の電極14が対向するように前記固定基板13と前記ダイアフラム16とを接合して静圧動圧検知センサを構成し、第二の電極12と第三の電極13間で静圧を検知し、第一の電極11と第二の電極12間あるいは第三の電極14と第四の電極15間で振動を検知することができるため、一つのセンサで精度良く静圧と動圧を検知することができる。

請求項（抜粋）：

一方の面に第一の電極、他方の面に第二の電極が形成された圧電材料からなる固定基板と、一方の面に第三の電極、他方の面に第四の電極が形成された圧電材料からなるダイアフラムと、前記第二の電極と前記第三の電極の少なくとも一方の周縁部に接着層を備え、前記第二の電極と前記第三の電極が対向するように前記固定基板と前記ダイアフラムとを接合した静圧動圧検知センサ。

IPC (2件)：

G01L 9/12 ,  H01L 41/08

FI (2件)：

G01L 9/12 ,  H01L 41/08 Z

Fターム (6件)：

2F055AA40 ,  2F055BB11 ,  2F055CC02 ,  2F055DD09 ,  2F055EE25 ,  2F055FF11