特許
J-GLOBAL ID:200903040576434275
真空バルブ及びその製造方法
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
則近 憲佑
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平7-078507
公開番号(公開出願番号):特開平8-031279
出願日: 1995年04月04日
公開日(公表日): 1996年02月02日
要約:
【要約】【目的】真空バルブの製造効率を向上させるとともに、接触子の酸化及び耐溶着性の低下等を防止して信頼性を向上させ、遮断性能を安定化させることを目的とする。【構成】 真空排気された真空炉中で、絶縁筒11の両端と金属フランジ12,13とのロウ付けを含む真空容器の最終気密ロウ付けと、接触子22,23、電極14,15、通電軸16,17の金属製部品間のロウ付けとを同時に行う製造方法を特徴とする。また、電極14,15、通電軸16,17間のロウ付け面に凹凸を設けてロウ付けに適した真空バルブの構造を特徴とする。
請求項(抜粋):
絶縁筒の両端を金属フランジにより封止した真空容器内に接離可能な1対の電極を配置し、この1対の電極の対向面における少なくとも一方には接触子を接合し、前記1対の電極の背面には当該各電極を外部に電気的に接続するための通電軸をそれぞれ接続した真空バルブの製造方法において、真空排気された真空炉中で、前記絶縁筒の両端と前記金属フランジとのロウ付けを含む前記真空容器の最終気密ロウ付けと、前記電極と接触子とのロウ付けとを同時に行うことを特徴とする真空バルブの製造方法。
IPC (2件):
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