黒鉛材料、SiC膜形成黒鉛材料及びシリコン単結晶引上装置用部品

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：梶良之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-107975
公開番号（公開出願番号）：特開2000-351670
出願日： 2000年04月05日
公開日（公表日）： 2000年12月19日
要約：

【要約】【課題】 SiCとの熱膨張係数差によって生じるクラックや割れを防止でき、しかも急激な昇温にも耐える耐熱性に優れた黒鉛材料及び単結晶引上装置用部品を提供する。【解決手段】 SiCとの熱膨張の差が少なくなるように、293K〜673Kの熱膨張係数が3.0〜4.0×10-6/Kとし、且つ293Kでの熱伝導率が120W/(m・K)以上又は耐熱衝撃係数が80kW/m以上にして耐熱衝撃係数をコントロールした黒鉛材料を使用する。

請求項（抜粋）：

293K〜673Kの熱膨張係数が3.0〜4.0×10-6/K、293Kでの熱伝導率が120W/(m・K)以上、熱膨張係数の異方比が1.1以下である黒鉛材料。

IPC (6件)：

C04B 35/52 , C01B 31/04 101 , C04B 41/87 , C30B 15/10 , C30B 29/06 502 , H01L 21/208

FI (6件)：

C04B 35/54 A , C01B 31/04 101 A , C04B 41/87 V , C30B 15/10 , C30B 29/06 502 B , H01L 21/208 P

引用特許：

審査官引用 (16件)

特開昭64-014173
特開昭64-014173
特開昭61-251593

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