特許

J-GLOBAL ID：200903040588391245

ターゲット着脱装置

発明者： 斉藤 勝彦
出願人/特許権者： 住友重機械工業株式会社
代理人 (3件)： 長谷川 芳樹 ,  寺崎 史朗 ,  黒木 義樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-192344
公開番号（公開出願番号）：特開2005-024466
出願日： 2003年07月04日
公開日（公表日）： 2005年01月27日
要約：

【課題】ターゲット交換の効率化を図ることが可能な小型のターゲット着脱装置を提供する。【解決手段】ターゲット着脱装置10は、加速粒子の導出部104にターゲット60を着脱するための装置である。この装置10は、(1)ターゲット60を保持するためのN(Nは2以上の整数)個の保持部48を有するターゲット保持部材16と、(2)ターゲット保持部材16の位置を変位させるための駆動装置と、を備える。そして、ターゲット保持部材16のN個の保持部48は第1の方向Yに並設されており、駆動装置は、ターゲット保持部材16を第1の方向Yに変位させる第1駆動部20,22と、ターゲット保持部材16を第1の方向Yと交差する第2の方向Xに変位させる第2駆動部18と、を有する。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

加速粒子の導出部にターゲットを着脱するためのターゲット着脱装置であって、 ターゲットを保持するためのN(Nは2以上の整数)個の保持部を有するターゲット保持部材と、 前記ターゲット保持部材の位置を変位させるための駆動装置と、を備え、 前記ターゲット保持部材の前記N個の保持部は第1の方向に並設されており、 前記駆動装置は、前記ターゲット保持部材を前記第1の方向に変位させる第1駆動部と、該ターゲット保持部材を該第1の方向と交差する第2の方向に変位させる第2駆動部と、を有することを特徴とするターゲット着脱装置。

IPC (3件)：

G21G1/10 ,  G21K5/08 ,  H05H6/00

FI (3件)：

G21G1/10 ,  G21K5/08 R ,  H05H6/00

Fターム (7件)：

2G085AA11 ,  2G085BA17 ,  2G085BD04 ,  2G085BE06 ,  2G085BE08 ,  2G085DA03 ,  2G085EA07

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 特開平3-062440