特許

J-GLOBAL ID：200903040592814746

光学式ガス分析装置

発明者： 東 陽二 ,  中川 賢一
出願人/特許権者： 日本無線株式会社
代理人 (1件)： 千葉 剛宏 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-062283
公開番号（公開出願番号）：特開平7-270308
出願日： 1994年03月31日
公開日（公表日）： 1995年10月20日
要約：

【要約】【目的】被測定ガスを導入する試料セルを小型、小容量化し、且つ、動作が安定で、高感度に被測定ガスの濃度を検出し得る光学式ガス分析装置を提供する。【構成】ミラー24a、24bの間隔をピエゾ素子28で微調整可能としたファブリー・ペロー共振器型の試料セル22に対して、制御回路32により周波数可変レーザ20の発振周波数を掃引制御してレーザ光を導入するとともに、前記ミラー24bをピエゾ素子28により変位させることで共振させ、前記試料セル22を透過した前記レーザ光を光検出器30により検出し、その検出値から被測定ガスの濃度を求める。

請求項（抜粋）：

試料セル内に導入した被測定ガスにレーザ光を照射し、被測定ガスによる前記レーザ光の光吸収強度からその濃度を検出する光学式ガス分析装置において、両端部に前記レーザ光の一部を透過可能な反射ミラーが配設され、被測定ガスが前記反射ミラー間に導入されるファブリー・ペロー共振器型の試料セルと、発振スペクトル幅が前記試料セルのフリンジ幅以下に設定され、発振周波数が可変なレーザ光を出力する周波数可変レーザと、前記周波数可変レーザの発振周波数を掃引制御する制御回路と、前記反射ミラーの間隔を調整すべく、前記反射ミラーの少なくとも一方を他方に対して変位させる変位手段と、前記制御回路による前記レーザ光の周波数掃引に同期して、前記試料セル内で前記レーザ光を共振させるべく前記変位手段を駆動する駆動回路と、前記試料セルを透過する前記レーザ光の光吸収強度を検出する光検出器と、を備えることを特徴とする光学式ガス分析装置。