特許

J-GLOBAL ID：200903040594458440

石英ガラス及びそのCOガス濃度測定方法

発明者： 小峯 典男 ,  藤原 誠志 ,  神保 宏樹
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-272289
公開番号（公開出願番号）：特開2001-089182
出願日： 1999年09月27日
公開日（公表日）： 2001年04月03日
要約：

【要約】【課題】 従来の有機ケイ素化合物を原料ガスとして直接法で合成された石英ガラスでは、ArFエキシマレーザの波長である193.4nmにおいても内部吸収係数が0.005cm-1以上になってしまい、ArFエキシマレーザステッパの結像光学系のレンズ部材としての仕様を満たせなかった【解決手段】 有機ケイ素化合物からなる原料ガスを用いて直接法によって合成された石英ガラスにおいて、ガラス中に含有するCOガス濃度を1×1015cm-3以下とすることにより、190nm以上の波長領域において内部吸収係数が0.005cm-1以下を達成できることを見いだした。

請求項（抜粋）：

有機ケイ素化合物からなる原料ガスを用いて直接法によって合成された石英ガラスであって、該石英ガラス中に含有するCOガス濃度が、1×1015cm-3以下であることを特徴とする石英ガラス。

IPC (3件)：

C03C 3/06 ,  C03B 8/04 ,  C03B 20/00

FI (3件)：

C03C 3/06 ,  C03B 8/04 D ,  C03B 20/00 F

Fターム (58件)：

4G014AH11 ,  4G062AA04 ,  4G062BB02 ,  4G062DA08 ,  4G062DB01 ,  4G062DC01 ,  4G062DD01 ,  4G062DE01 ,  4G062DF01 ,  4G062EA01 ,  4G062EA10 ,  4G062EB01 ,  4G062EC01 ,  4G062ED01 ,  4G062EE01 ,  4G062EF01 ,  4G062EG01 ,  4G062FA01 ,  4G062FA10 ,  4G062FB01 ,  4G062FC01 ,  4G062FD01 ,  4G062FE01 ,  4G062FF01 ,  4G062FG01 ,  4G062FH01 ,  4G062FJ01 ,  4G062FK01 ,  4G062FL01 ,  4G062GA01 ,  4G062GA10 ,  4G062GB01 ,  4G062GC01 ,  4G062GD01 ,  4G062GE01 ,  4G062HH01 ,  4G062HH03 ,  4G062HH05 ,  4G062HH07 ,  4G062HH09 ,  4G062HH11 ,  4G062HH13 ,  4G062HH15 ,  4G062HH17 ,  4G062HH20 ,  4G062JJ01 ,  4G062JJ03 ,  4G062JJ05 ,  4G062JJ06 ,  4G062JJ07 ,  4G062JJ10 ,  4G062KK01 ,  4G062KK03 ,  4G062KK05 ,  4G062KK07 ,  4G062KK10 ,  4G062MM02 ,  4G062NN01