特許
J-GLOBAL ID：200903040598762730
表面研磨装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-152964
公開番号（公開出願番号）：特開平5-004164
出願日： 1991年06月25日
公開日（公表日）： 1993年01月14日
要約：
【要約】【目的】 保持プレートを局部的に加圧することで、ワークの定盤に対する面圧の不均一さに起因する保持プレート及びワークの回転不良を防止する。【構成】 固定アーム6に支持されて昇降自在な保持プレート4にワーク3を保持し、この保持プレート3を下降させることによって回転する定盤2に前記被加工材を押圧接触させると共に研磨面に研磨剤を供給しながら前記被加工材の研磨を行う表面研磨装置であって、保持プレート4の外周部に対し、押圧シリンダ7及びローラ8による押圧手段を設け、押圧シリンダ7の圧力を調整することにより保持プレート4に局部的な押圧力を付与する。
請求項（抜粋）：
昇降自在な保持プレートに被加工材を保持し、この保持プレートを下降させることによって回転する定盤に前記被加工材を押圧接触させると共に研磨面に研磨剤を供給しながら前記被加工材の研磨を行う表面研磨装置であって、前記保持プレートに対し局部的な押圧力を付与する押圧手段を設けたことを特徴とする表面研磨装置。
IPC (4件)：
B24B 37/00
, B24B 1/00
, B24B 37/04
, H01L 21/304 321
