特許

J-GLOBAL ID：200903040602912989

表面位置検出装置

発明者： 西村 宏
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 宮川 貞二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-158140
公開番号（公開出願番号）：特開平10-335240
出願日： 1997年05月30日
公開日（公表日）： 1998年12月18日
要約：

【要約】【課題】 全体として横の色収差とディストーションを含む収差を残さない表面位置検出装置を提供する。【解決手段】 所定の基準面に対する被検面位置を検出する表面位置検出装置であって、前記基準面に対してシャインプルーフの条件を充足する第1の面からの光束を集光して、前記被検面に第1の面の像を結ぶ第1の光学系を備え、前記第1の光学系は正の屈折力を有する第1のレンズ群と、正の屈折力を有する第2のレンズ群とを有し、前記第1のレンズ群と第2のレンズ群は各々独立に横の色収差とディストーションを含む収差を補正されている表面位置検出装置。第1の光学系により第1の面の像が被検面に結像され、第1のレンズ群と第2のレンズ群は各々独立に横の色収差とディストーションを含む収差を補正されているので、これらレンズ群が偏心しても収差が発生しない。

請求項（抜粋）：

所定の基準面に対する被検面位置を検出する表面位置検出装置であって;前記基準面に対してシャインプルーフの条件を充足する第1の面からの光束を集光して、前記被検面に第1の面の像を結ぶ第1の光学系を備え;前記第1の光学系は正の屈折力を有する第1のレンズ群と、正の屈折力を有する第2のレンズ群とを有し;前記第1のレンズ群と第2のレンズ群は各々独立に横の色収差とディストーションを含む収差を補正されていることを特徴とする;表面位置検出装置。

IPC (3件)：

H01L 21/027 ,  G01B 11/00 ,  G02B 13/00

FI (3件)：

H01L 21/30 525 S ,  G01B 11/00 A ,  G02B 13/00