特許

J-GLOBAL ID：200903040608844586

試料の分離装置及び分離方法及び分離の監視装置並びに基板の製造方法

発明者： 柳田 一隆 ,  坂口 清文 ,  近江 和明 ,  米原 隆夫
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 大塚 康徳 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-255636
公開番号（公開出願番号）：特開2000-091304
出願日： 1998年09月09日
公開日（公表日）： 2000年03月31日
要約：

【要約】【課題】貼り合わせ基板の分離の完了を検知することにより、分離の完了後に直ちに次の処理に移行する。【解決手段】貼り合わせ基板101を基板保持部104及び105により回転させながらノズル118から水を噴射して、該貼り合わせ基板101を2枚の基板101a及び101cに分離する。貼り合わせ基板101が2枚の基板101a及び101cに分離されると、基板101aと基板101cとの間に連続的に注入される水の圧力により基板101cが移動する。これにより基板保持部105及び回転軸105が後退し、その変位が変位センサ109により検知される。従って、基板保持部105及び回転軸105の変位が所定量を越えた場合に、貼り合わせ基板101の分離の完了を検知することができる。

請求項（抜粋）：

流体により試料を分離する分離装置であって、試料を保持する保持機構と、前記保持機構により保持された試料に向けて流体を噴射して該流体により該試料を分離する分離処理部と、前記分離処理部による試料の分離の状況を検知する検知部と、前記検知部による検知結果に基づいて前記分離処理部を制御する制御部と、を備えることを特徴とする分離装置。

IPC (3件)：

H01L 21/306 ,  H01L 21/02 ,  H01L 21/304 601

FI (3件)：

H01L 21/306 Z ,  H01L 21/02 B ,  H01L 21/304 601 Z

Fターム (5件)：

5F043AA02 ,  5F043BB01 ,  5F043EE07 ,  5F043EE08 ,  5F043GG01