特許
J-GLOBAL ID：200903040611639942
回折格子装置及び表示装置
発明者：
,
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出願人/特許権者：
代理人 (4件)：
吉武 賢次
, 佐藤 泰和
, 吉元 弘
, 川崎 康
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-078399
公開番号（公開出願番号）：特開2009-230055
出願日： 2008年03月25日
公開日（公表日）： 2009年10月08日
要約：
【課題】小型でかつ半導体素子の設計レベルで光学的なアライメントが可能な回折格子装置および表示装置を提供することを可能にする。【解決手段】表面に空洞部22が形成された半導体基板20と、半導体基板に形成され、光源からの光を伝搬する導波路25と、空洞部上に形成されるとともに導波路から伝搬される光を回折する格子周期が可変な回折格子を有し、格子周期を変えることにより回折光の方向を変化させるフォーカスグレーティングカプラ30と、一端が半導体基板と連結されフォーカスグレーティングカプラを支持する支持部40と、を備えている。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
表面に空洞部が形成された半導体基板と、
前記半導体基板に形成され、光源からの光を伝搬する導波路と、
前記空洞部上に形成されるとともに前記導波路から伝搬される光を回折する格子周期が可変な回折格子を有し、前記格子周期を変えることにより回折光の方向を変化させるフォーカスグレーティングカプラと、
一端が前記半導体基板と連結され前記フォーカスグレーティングカプラを支持する支持部と、
を備えていることを特徴とする回折格子装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (20件)：
2H141MA12
, 2H141MB17
, 2H141MB62
, 2H141MB63
, 2H141MC07
, 2H141MD02
, 2H141MD05
, 2H141MD39
, 2H141ME06
, 2H141ME25
, 2H141MF26
, 2H141MF28
, 2H141MG03
, 2H141MG04
, 2H141MZ05
, 2H141MZ16
, 2H141MZ19
, 2H141MZ24
, 2H141MZ25
, 2H141MZ26
