特許

J-GLOBAL ID：200903040612491264

スタンパ-の製造方法、当該方法を行うことによって得られるスタンパ-、並びに当該スタンパ-を使用することによって得られる光学ディスク

発明者： ローランド アンソニー タッケン
出願人/特許権者： オーデーエムエー インターナショナル ベスローテン フェンノートシャップ
代理人 (1件)： 石田 敬 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-127423
公開番号（公開出願番号）：特開2000-040268
出願日： 1999年05月07日
公開日（公表日）： 2000年02月08日
要約：

【要約】【課題】 優れた寸法安定性を有するフォトレジストポストを具備する、CDレプリカの大量生産のためのスタンパーの製造方法を提供する。【解決手段】 フォトレジストフィルムを基材に適用し、その後、前記フォトレジストフィルムを露光させ、かつ現像することによって前記フォトレジストフィルムを構造化することを含む、光学ディスクを製造するためのスタンパーの製造方法。前記方法は、導電性基材を使用し、当該基材上に構造化させたフォトレジストフィルムを不動態化処理に付し、このようにして不動態化された基材(構造化されたフォトレジストフィルムを備えている)を、その上にニッケル層を形成させる目的のためにガルバニック処理に付し、その後、このようにして形成されたニッケル層を当該基材から剥離してスタンパーを得ることを特徴とする。

請求項（抜粋）：

フォトレジストフィルムを基材に適用し、その後、前記フォトレジストフィルムを露光させ、かつ現像することによって前記フォトレジストフィルムを構造化することを含む、光学ディスクを製造するためのスタンパーの製造方法であって、導電性基材を使用し、当該基材上に構造化させたフォトレジストフィルムを不動態化処理に付し、このようにして不動態化された基材(構造化されたフォトレジストフィルムを備えている)を、その上にニッケル層を形成させる目的のためにガルバニック処理に付し、その後、このようにして形成されたニッケル層を当該基材から剥離してスタンパーを得るということを特徴とする方法。

IPC (2件)：

G11B 7/26 511 ,  G03F 7/00

FI (2件)：

G11B 7/26 511 ,  G03F 7/00