特許
J-GLOBAL ID：200903040613382779
レーザモニタ装置及びレーザ装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
佐々木 聖孝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-085930
公開番号（公開出願番号）：特開平10-263859
出願日： 1997年03月19日
公開日（公表日）： 1998年10月06日
要約：
【要約】【課題】 波形制御方式において任意の波形に適応し、品質管理に有用なモニタ情報を与える。【解決手段】 このパルスレーザ加工装置において、レーザモニタ部18は、光センサ34、レーザ出力測定回路36、A-D変換器38、モニタ制御部40、比較判定部42、表示制御部44、表示部46、アラーム発生回路48およびブザー50から構成されている。光センサ34およびレーザ出力測定回路36により、レーザ光LBのレーザ出力の瞬時値を表すレーザ出力測定値信号(アナログ電圧信号)SB が得られ、A-D変換器38によりディジタルのレーザ出力測定値信号DB が比較判定部42およびモニタ制御部40に供給される。モニタ制御部40は、モニタ用の基準波形を設定し、比較判定部42を制御する。比較判定部42より得られたモニタ判定結果は、表示制御部44を介して表示部46の表示画面または表示ランプに表示される。
請求項（抜粋）：
レーザ装置における波形制御用の基準波形に対応したモニタ用の基準波形を設定するモニタ用基準波形設定手段と、前記モニタ用基準波形に対して任意の期間または時点で1つまたは複数の監視区間または監視点を設定し、かつ各々の前記監視区間または監視点において前記モニタ用基準波形から所望の許容値だけオフセットした上限および/または下限の監視波形または監視値を設定する監視条件設定手段と、前記レーザ光のレーザ出力またはそれに対応する所定の電気的パラメータを測定する測定手段と、前記監視区間または監視点において前記測定手段より得られる測定値を前記監視値と比較する比較手段と、前記比較手段の比較結果に基づいてモニタ判定結果を出力する判定手段とを具備することを特徴とするレーザモニタ装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
B23K 26/00 N
, H01S 3/091
審査官引用 (2件)
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特開昭63-153874
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特開昭63-153874
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