荷電粒子線径計測方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小川勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-123240
公開番号（公開出願番号）：特開平5-312962
出願日： 1992年05月15日
公開日（公表日）： 1993年11月26日
要約：

【要約】【目的】ビーム径測定にあたえる、ビーム走査中にビームが揺れることに起因する誤差を排除する。【構成】電子ビーム1は、偏向板2で偏向を受け、ナイフエッジ3上を走査する。ビームは、ファラディーカップ4で検出され、増幅器6で増幅する。偏向制御系5から同期信号を信号演算部7で受け走査加算平均等の演算を行いビーム径を表示系8に表示する。検出波形の波高の半値レベルを与える時間軸座標点を原点に定め、または、基準波形と検出波形の一次微分の最大値を与える時間軸座標点を座標系の原点として決め、前記原点の座標系を基に、検出波形や、基準波形と、検出波形と基準波形との偏差を加算平均する。

請求項（抜粋）：

ナイフエッジ状の鋭いビーム遮蔽物と該遮蔽物上をビームで走査する手段とビームを検出する検出器とビームを制御,解析する装置から成るビーム径測定装置において、複数回、前記遮蔽物のエッジをビームで走査し、この時発生した走査領域を走査したビームの情報を検出器で検出し、この検出波形を演算処理を実行し、基準点を定め座標原点とし、該座標原点を各走査ごとに求め、その座標系で検出波形の加算を行い平均化した検出波形を用いて行うことを特徴とする荷電粒子線径計測方法。

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