特許

J-GLOBAL ID：200903040615463539

ポジ型感光性樹脂組成物

発明者： 木村 正志 ,  金田 隆行
出願人/特許権者： 旭化成株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-143716
公開番号（公開出願番号）：特開2002-341527
出願日： 2001年05月14日
公開日（公表日）： 2002年11月27日
要約：

【要約】【課題】 初期膜厚が10μmを越える厚膜条件下においても高感度、高コントラストであり、かつ優れた解像性を示すポジ型感光性樹脂組成物を提供する。【解決手段】 (a)アルカリ可溶性ポリアミドと、(b)下記一般式(2)で表される感光性ジアゾキノン化合物を含むポジ型感光性樹脂組成物を調製する。【化1】(Zは4価の有機基、R1〜R4は1価の有機基、kは0または1、r〜uは0または1〜3、e〜hはそれぞれ0〜2、かつe〜hの和は5〜8、Qのうち少なくとも1個はナフトキノンジアジドスルホン酸基であり、残りは水素原子。)

請求項（抜粋）：

(a)下記一般式(1)で示される繰り返し単位を有するポリアミド100重量部と、【化1】(式中、X1は少なくとも2個以上の炭素原子を有する2〜4価の有機基、Y1は少なくとも2個以上の炭素原子を有する2〜6価の有機基、p、qは0または1〜4の整数、R1は水素原子または炭素数1〜20の有機基であり、mは0、1、または2の整数、nは2〜1000の整数である。ただし、m、p、qが同時に0であることはない。)(b)下記一般式(2)で表される感光性ジアゾキノン化合物1〜100重量部を、必須成分とするポジ型感光性樹脂組成物。【化2】(式中、Zは4価の有機基、R1、R2、R3、およびR4は1価の有機基、kは0または1、r、s、t、およびuは0または1〜3の整数である。また、e、f、g、およびhはそれぞれ0、1、または2の整数であり、同時にe、f、g、およびhの和は5〜8の整数である。更に、Qのうち、少なくとも1個は下記で示される基であり、残りは水素原子である。)【化3】

IPC (5件)：

G03F 7/022 601 ,  C08K 5/42 ,  C08L 77/06 ,  G03F 7/037 501 ,  H01L 21/027

FI (5件)：

G03F 7/022 601 ,  C08K 5/42 ,  C08L 77/06 ,  G03F 7/037 501 ,  H01L 21/30 502 R

Fターム (21件)：

2H025AA01 ,  2H025AA02 ,  2H025AA10 ,  2H025AA13 ,  2H025AA20 ,  2H025AB16 ,  2H025AB17 ,  2H025AC01 ,  2H025AC05 ,  2H025AC06 ,  2H025AC07 ,  2H025AD03 ,  2H025BE01 ,  2H025CB26 ,  2H025CB45 ,  2H025FA17 ,  2H025FA29 ,  4J002CL031 ,  4J002EQ016 ,  4J002EV226 ,  4J002FD206