特許
J-GLOBAL ID：200903040615582147
プラズマ発生装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
三好 祥二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-352598
公開番号（公開出願番号）：特開平6-177058
出願日： 1992年12月10日
公開日（公表日）： 1994年06月24日
要約：
【要約】【目的】構造が簡単で製作費、メンテナンスコストの安価な而もプラズマ密度が均一であるプラズマ発生装置を提供する。【構成】反応室24を画成する真空容器23の外側にプラズマ発生コイル26を配設し、該プラズマ発生コイルに高周波電源28を接続し、反応室を減圧状態にしてプラズマ発生コイルに高周波電力を印加し、プラズマ発生コイルが形成する電磁波によって反応室内にプラズマ11を発生させる。
請求項（抜粋）：
反応室を画成する真空容器の外側にプラズマ発生コイルを配設し、該プラズマ発生コイルに高周波電源を接続したことを特徴とするプラズマ発生装置。
IPC (5件)：
H01L 21/205
, C23C 16/50
, C23F 4/00
, H01L 21/302
, H05H 1/46
