特許

J-GLOBAL ID：200903040623570468

インクジェットヘッド用ノズルプレート及びその製造方法

発明者： 鈴木 祐治 ,  紙透 真一 ,  荒川 克治
出願人/特許権者： セイコーエプソン株式会社
代理人 (1件)： 鈴木 喜三郎 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-213829
公開番号（公開出願番号）：特開平9-057981
出願日： 1995年08月22日
公開日（公表日）： 1997年03月04日
要約：

【要約】【課題】 シリコン基板を用いたインクジェットヘッド用ノズルプレートにおいて、ノズルピッチの高密度化、印字特性の向上を実現する。【解決手段】 シリコン基板11の一方の面12にノズル18に相当するノズルパターン16を、他方の面13にインク入り口穴19に相当するパターン17を形成し、一方の面12には異方性ドライエッチングを施してノズル18を形成し、他方の面13にはある程度の異方性を兼ね備えた等方性エッチングを施してインク入り口穴19を形成し、エッチングマスクを除去した後、熱酸化膜110を形成する。

請求項（抜粋）：

(100)又は(110)面方位のSi基板を構成部材とするインクジェットヘッド用ノズルプレートにおいて、ノズルのインク吐出側が基板表面に対して垂直な壁面を有する穴で、インク入り口側が漏斗状又は釣り鐘状の穴であることを特徴とするインクジェットヘッド用ノズルプレート。