特許
J-GLOBAL ID：200903040639539668
硬度測定方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
樺山 亨 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-007657
公開番号（公開出願番号）：特開平5-196562
出願日： 1992年01月20日
公開日（公表日）： 1993年08月06日
要約：
【要約】【目的】測定試料の硬度測定を全自動で行なう測定方式において、圧痕像を2次元撮像素子の受光面上に結像させるオートフォーカスを良好に行なう。【構成】移動ステージ上に設置された測定試料に圧子により圧痕を形成したのち対物レンズを選択し、対物レンズにより圧痕の拡大像IKを撮像素子の受光面1上に結像させて圧痕像を読み取り、測定試料の硬度を算出する全自動硬度測定方式において、対物レンズを選択したのち、圧痕像IKの結像位置を含み圧痕像よりやや広い領域をAFエリアDAFとして設定してオートフォーカスを行ない、圧痕像IKを撮像素子の受光面1上に結像させる。
請求項（抜粋）：
互いに直交するX,Y,Z方向へ移動可能で、Z方向と平行な回動軸の回りに回動可能な移動ステージと2次元の撮像素子を上記Z方向に於いて対向せしめ、対物レンズと圧子とを回転軸から等距離の位置に備えたレボルバーを、上記移動ステージと撮像素子との間に、上記回転軸をZ方向と平行にして回転可能且つZ方向へ移動可能に配備し、移動ステージ上に設置された測定試料に上記圧子により圧痕を形成したのち、上記レボルバーを回転して対物レンズを選択し、上記対物レンズにより圧痕の拡大像を上記撮像素子の受光面上に結像させて圧痕像を読み取り、測定試料の硬度を算出する全自動硬度測定方式において、上記対物レンズを選択したのち、圧痕像の結像位置を含み圧痕像よりやや広い領域をAFエリアとして設定してオートフォーカスを行ない、圧痕像を上記撮像素子の受光面上に結像させることを特徴とする硬度測定方法。
引用特許：
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