特許

J-GLOBAL ID：200903040646034296

基板をコーティングする装置のための蒸発器ボート

発明者： ヴォルフガング アハトナー ,  ギュンター クレム
出願人/特許権者： バルツァース ウント ライボルト ドイチュラント ホールディング アクチエンゲゼルシャフト
代理人 (1件)： 矢野 敏雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-043145
公開番号（公開出願番号）：特開平9-235665
出願日： 1997年02月27日
公開日（公表日）： 1997年09月09日
要約：

【要約】【解決手段】 真空コーティング室内で基板をコーティングする装置のための蒸発器ボートであって、導電性材料から成る扁平な縦長の槽状部分から成っており、この槽状部分が直接的な通電により加熱可能であり、このことのために、槽状部分の、直径方向で互いに対向して位置する両方の端部に、それぞれほぼ方形の鉛直に延びる接触面が設けられており、これらの接触面が槽状部分の保持のための互いに平行な締付け箇所と通電部とを形成している形式のものにおいて、槽状部分に、蒸発させるべき物質を受容するための単数又は複数の互いに並んで位置する部位が設けられており、さらに、槽状部分がそれぞれの部位の前後に切欠又は孔を備えている。【効果】 均一なコーテングが得られる。

請求項（抜粋）：

真空コーティング室内で基板をコーティングする装置のための蒸発器ボートであって、導電性材料から成る扁平な縦長の槽状部分(3,8)から成っており、この槽状部分が直接的な通電により加熱可能であり、このことのために、槽状部分(3,8)の、直径方向で互いに対向して位置する両方の端部に、それぞれほぼ方形の鉛直に延びる接触面(4,5,9,10)が設けられており、これらの接触面が槽状部分(3,8)の保持のための互いに平行な締付け箇所と通電部とを形成している形式のものにおいて、槽状部分(3,8)に、蒸発させるべき物質を受容するための単数又は複数の互いに並んで位置する部位(6,11,11′...)が設けられており、さらに、槽状部分(3,8)がそれぞれの部位(6,11,11′...)の前後に切欠(7,7′,...12,12′...)又は孔を備えていることを特徴とする基板をコーティングする装置のための蒸発器ボート。

IPC (2件)：

C23C 14/24 ,  C23C 14/26

FI (2件)：

C23C 14/24 A ,  C23C 14/26 A

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 蒸着用ボート
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-017858   出願人：信越化学工業株式会社
• 導電性セラミックス及びその用途
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-116874   出願人：電気化学工業株式会社
• 特開昭52-102681