特許

J-GLOBAL ID：200903040649625333

液状物用熱式流速センサ

発明者： 肥田 恭典 ,  八木 秀明
出願人/特許権者： 日本特殊陶業株式会社
代理人 (1件)： 菅原 正倫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-100509
公開番号（公開出願番号）：特開平11-281448
出願日： 1998年03月26日
公開日（公表日）： 1999年10月15日
要約：

【要約】【課題】 腐食性の高い液体や研磨性の高い液状物の流量を小流量でも精度よく測定でき、しかも安価な流速計を提供する。【解決手段】 本発明の液状物用熱式流速センサにおいては、抵抗発熱体21を、耐食性あるいは耐磨耗性に優れたアルミナ、炭化硅素、窒化硅素及びジルコニアから選ばれる1種又は2種以上を主体とするセラミック、あるいは耐食性の良好なフッ素樹脂からなる防護被覆層により覆った構造とした。これにより、流速検知素子6の耐久性が高められ、酸やアルカリ等の腐食性の高い液体や、セラミック原料粉末や研粒等のスラリーなど、研磨性の高い液状物の流量の測定を行う場合でも、素子寿命を長期間確保することができる。

請求項（抜粋）：

アルミナ、炭化硅素、窒化硅素及びジルコニアから選ばれる1種又は2種以上を主体とするセラミック、又はフッ素樹脂からなる防護被覆層にて抵抗発熱体を覆った本体部を有し、該本体部と液状物とが接触することによる前記抵抗発熱体の電気抵抗値変化に基づいて該液状物の流速を検知する流速検知素子を備えたことを特徴とする液状物用熱式流速センサ。

IPC (2件)：

G01F 1/68 ,  G01P 5/12

FI (3件)：

G01F 1/68 ,  G01P 5/12 C ,  G01P 5/12 M

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 熱式流量センサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-217878   出願人：シーケーディ株式会社
• 発熱抵抗式空気流量計
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-114648   出願人：株式会社日立製作所, 株式会社日立カーエンジニアリング
• 流量測定装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-234279   出願人：株式会社タツノ・メカトロニクス
• 特開昭54-097451